Aufdampfverfahren

In der Oberflächentechnik besteht eines der ältesten Verfahren zur Herstellung hoch reiner und leistungsfähiger Schichten im Verdampfen des Beschichtungsmaterials (vorzugsweise unter Vakuum) und dem anschießenden Auftrag durch Kondensation an der zu beschichtenden Oberfläche. Hierzu wird das zu verdampfende Material meist über Widerstandbeheizung erhitzt. Im Falle hochsiedender Materialien wie Quarz wird üblicherweise ein Elektronenstrahl auf das zu verdampfende Material gelenkt.

Das gute, alte Bedampfungsverfahren steht heute neben den jüngeren Beschichtungsverfahren mittels Kathodenzerstäubung (“Sputtering”oder neudeutsch “Sputtern”) oder Plasma-CVD bzw. “Plasmapolymerisation” im Hintergrund, allerdings sehr zu Unrecht:

  • Das Bedampfen ist immer noch die häufigste Technik zur Herstellung von Aluminiumschichten oder von Antireflexschichten auf Brillengläsern oder sonstigen optischen Teilen.
  • Außerdem ist es eher als die genannten neueren Verfahren geeignet, große Polymermoleküle ohne gravierende Änderungen als Beschichtungen aufzutragen. Dies spielt eine große Rolle bei Pflegeleicht- oder “Antifog”-Schichten.
  • Auch für die Weiterentwicklung von derzeit aktuellen Beschichtungsverfahren wie “Plasmapolymerisation” oder “Atomic layer Deposition (ALD)” spielt das Verdampfen der Ausgangssubstanzen eine große Rolle, wobei diese dann entweder in der Gasphase oder nach Auftreffen an die Oberfläche chemisch umgesetzt werden.

Aus all diesen Gründen betreibt Surface Chemistry die Entwicklung von speziellen Verdampfungsgeräten.