K. Enke, H. Grünwald, I. Hussla und G. Lorenz, DE 36 33 386 (1.10.1986): "Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten im Vakuum".
Dienstleistungen
K. Enke, H. Grünwald, I. Hussla und G. Lorenz, DE 36 33 386 (1.10.1986): "Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten im Vakuum".