G. Castrischer, P.M. Banks, T.-M. Pang, P. Baumann, H. Grünwald, I. Hussla, G. Lorenz, H. Stoll und H. Ramisch, Microel. Eng. 6., 559-563 (1987): "ln-Situ Temperature Measurements for Aluminium Etching".
Dienstleistungen
G. Castrischer, P.M. Banks, T.-M. Pang, P. Baumann, H. Grünwald, I. Hussla, G. Lorenz, H. Stoll und H. Ramisch, Microel. Eng. 6., 559-563 (1987): "ln-Situ Temperature Measurements for Aluminium Etching".