H. Grünwald und H. Ramisch, DE 39 35 189 (23.10.1989): "Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken durch Reaktives Ionenätzen".
Dienstleistungen
H. Grünwald und H. Ramisch, DE 39 35 189 (23.10.1989): "Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken durch Reaktives Ionenätzen".