I.Hussla, P. Banks, P. Baumann, G. Castrischer, H. Grünwald, G. Lorenz und H. Ramisch, Proc. Plasma Surf. Eng. 1st, Garmisch-Partenkirchen (Hrsg. E. Broszeit), 495-502 (1989): "Multistep RIE of Aluminium and its Alloys".
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I.Hussla, P. Banks, P. Baumann, G. Castrischer, H. Grünwald, G. Lorenz und H. Ramisch, Proc. Plasma Surf. Eng. 1st, Garmisch-Partenkirchen (Hrsg. E. Broszeit), 495-502 (1989): "Multistep RIE of Aluminium and its Alloys".