H. Grünwald, W. Maaß, M. Geisler, DE 40 10 672 (3.4.1990): „Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen".
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H. Grünwald, W. Maaß, M. Geisler, DE 40 10 672 (3.4.1990): „Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Werkstücken durch reaktives Ionenätzen".