M. Geisler, H. Grünwald, M. Jung, A. Zöller und W. Klug, DE 44 14 083 (22.4.1994): "Vorrichtung zum Herstellen dünner Schichten auf Kunststoff-Substraten und zum Ätzen solcher Substrate".
Dienstleistungen
M. Geisler, H. Grünwald, M. Jung, A. Zöller und W. Klug, DE 44 14 083 (22.4.1994): "Vorrichtung zum Herstellen dünner Schichten auf Kunststoff-Substraten und zum Ätzen solcher Substrate".