H. Grünwald, M. Jung, K. Kukla, R. Adam und S. Kunkel, Surf. Coat. Technol. 93, 99-104 (1997): "New Generation Sputtering and Plasma Polymerization Plant for Reflector Production".
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H. Grünwald, M. Jung, K. Kukla, R. Adam und S. Kunkel, Surf. Coat. Technol. 93, 99-104 (1997): "New Generation Sputtering and Plasma Polymerization Plant for Reflector Production".
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