75.

Thursday, August 26th, 2010

J. Henrich, T. Baumecker, G. Rödling, J. Ulrich, H. Grimm, R. Fischer, A. Rosteck, J. Honekamp, F.-J. Helle, K. Michael, E. Budke, S. Mitzlaff, H. Grünwald, F. Schmidt und S. Bangert, WO 00/46418 (5.2.1999): „Vorrichtung zum Beschichten von Substraten mit einem Materialdampf im Unterdruck oder Vakuum mit einer Materialdampfquelle“.

Posted in Diffusionsbarriereschichten, Gesamtes Schriftverzeichnis |