R. Beckmann, T. Schulte, T. Naumann, H. Grünwald, EP 1 063 678 (20.6.2000): „Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas in einer Kammer durch Mikrowellenanregung“.
Dienstleistungen
R. Beckmann, T. Schulte, T. Naumann, H. Grünwald, EP 1 063 678 (20.6.2000): „Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas in einer Kammer durch Mikrowellenanregung“.